陆飞完全一副照顾领导的样子,不情不愿道:“好吧,那我就退一步,条件可以改,这第一,就是以后不再追究梁孟松的问题。”
不等章忠谋回答,就听电子司司长冷不丁提醒一句:“现在梁博士已经是工程院候选院士,也许用不了多久,就会被选拔当院士。”
你们挖人才可真下血本啊!院士!
章忠谋又是记恨又是妒忌梁孟松。
但转念一想,如果台积电放弃了二审诉讼,今后再想针对梁孟松个人,就难于登天。
“可以。”
得到他的指示,蔡力行点了下头。
“另外,如果复芯投资asml失败的话,我要台积电,还有说服amsl,一起给中微半导体提供浸润式光刻机的专利技术授权。”
陆飞伸出第二根手指。
“你们想要造光刻机?据我所知,中微半导体还没有研发出65nm干式光刻机吧?”
章忠谋不免感到意外。
“没错,我们还停留在90nm干式光刻机,所以我们需要amsl、台积电提供光刻机的专利技术,让华夏企业自主生产,本来我们计划是找尼康、佳能合作。”
陆飞勾起了一抹淡淡的笑意。
中微半导体研发出65nm干式光刻机的消息,一直处于保密状态,就像给华为mate60的麒麟9000s芯片由谁代工的一样,有一股神秘的力量出手,悄悄地保证消息不泄露。
工信部等领导们有不知情,也有知情,很快就猜到了陆飞的用意,投去鼓励的眼神。
“这个,我们需要讨论一下。”
章忠谋和蔡力行等人说着悄悄话。
“你觉得呢?”
“章总,我觉得可以答应他们。”
“呵呵,你就不怕他们真的造出浸润式光刻机,甚至是euv光刻机?”
“怎么可能呢!您也知道造光刻机的难度有多大,哪怕给他们一套完整的图纸,他们也无法自主制造出一台光刻机,更别说造出euv光刻机,简直是痴心妄想!”
“你说的也有道理。”
章忠谋就是太清楚光刻机制造的难度,才没有一口回绝陆飞的条件。
要知道最先进的euv光刻机包括超过10万个零件,4万个螺栓、3000条线路软管,总长超过两公里,设备重达180吨。
光给三星的那台试验机,就需要40个集装箱、20辆卡车和三架货机,仅调试时间,就长达一年。
而在这10万个零件中,一些特殊零件非常复杂,比如紫外光源和光学镜头等,蔡斯公司提供生产镜头、各种反光镜和其他光学元件,目前世界上没有任何公司可以模仿。
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