摩尔定律表示, 集成电路的密度每两年翻倍,翻倍的前提是光刻技术的提升,降低曝光关键尺寸(CD)。
瑞利公式CD=k1*(λ/NA)
根据瑞利公式,想要降低CD值,可以通过降低波长λ、降低综合因素k1以及提高镜头的数值孔径NA。
在k1和NA数值变化范围很小的前提下,降低λ是光刻机厂商的最优解。
然而IC产业和科学家们在过去十多年里都没有解决这一问题。
波长λ依旧是193nm。
为了从193nm突破到157nm,学术界和产业界不知道提出多少种解决方案,甚至形成多个阵营,却始终没能成功的超越193nm方案。①
这也就意味着,即便是最畅销的PAS5500,也只是山中无老虎猴子称霸王而已。
解决不了光刻光源,光刻机只能小打小闹。
可即便如此,制造商也有歧视链。
比如佳能作为老牌的光刻机制造厂商,就瞧不上新晋的阿斯麦尔。
更瞧不上中国的半导体产业。
不管是晶圆生产线,还是半导体设备制造厂。
大概觉得秦蓁不太会说日语,跟在后面的几个年轻工程师也在那里小声嘀咕。
秦蓁想起了什么回头望去,“听说这次阿斯麦尔的PAS5500用的是蔡司提供的镜头。”
这话让那几个工程师一脸的尴尬。
尼康也好,佳能也罢,能够在光刻机制造领域有一席之地,和他们能够生产专门配套的镜头不无关系。
毕竟在瑞利公式中,NA也是关键数值。
创业之初阿斯麦尔就想要用德国蔡司的镜头,然而蔡司并不搭理这个只有三十来人的草台班子。
没办法阿斯麦尔找到了法国巴黎的一家小型光学公司CERCO,定制镜头。②
只不过相较而言,尼康和佳能的镜头性能更优越。
和CERCO保持合作之余,阿斯麦尔倒也有和日本这边有合作关系,只不过这种合作关系伴随着阿斯麦尔单挑日本光刻机两巨头而破裂。
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